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衍射光学元件的制作技术主要包括激光或电子束直写、反应离子刻蚀、离子束铣及薄膜沉积。
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衍射光学元件的制作技术主要包括激光或电子束直写 、 反应离子刻蚀 、 离子束铣及薄膜沉积.
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因此目前电子束光刻设备主要的用途是用于刻制掩膜板，许多人甚至认为电子束光刻技术的产出量永远也无法满足芯片量产的需求。
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